峰值波长在240-300nm的深紫外光可以破坏细菌的DNA(脱氧核糖核酸)，使其无法复制，从而达成抑菌杀菌效果。与浅紫外线(320-400nm)杀菌原理不同，浅紫外线是通过破坏细菌的蛋白质使其死亡，相同照射剂量下，深紫外线的杀菌能力超过浅紫外几千倍。

　　深紫外杀菌具有以下特点：杀菌过程是一个物理破坏过程，无任何副产物，杀菌过程不受温度，浓度，活性等化学平衡条件影响；无毒、无残留、无异味；所有细菌的细胞壁和病毒蛋白质外壳对紫外线均没有遮挡能力，紫外线对DNA，RNA造成统一破坏，不必更换药品，或使用组合药剂；特别适合空气，水和物体表面杀菌消毒。